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     電容式傳感器是將被測的非電量變化轉換為電容量變化的一類傳感器,它廣泛應用在壓力、濕度、溫度和加速度等測量中。隨著微電子機械系統(MEMS)設計與加工技術的不斷進步,已研制出包括微型壓力傳感器、濕度傳感器、加速度計,化學和生物傳感器等產品。在國內,尚無成熟的電容傳感器接口集成電路投入市場。
     單片集成是MEMS傳感器發展的一個趨勢，將傳感器結構和接口電路集成在一塊芯片上，使它具備標準IC工藝批量制造、適合大規模生產的優勢，在降低了生產成本的同時還減少了互連線尺寸，抑制了寄生效應，提高了電路的性能。
     單片集成電容式壓力傳感器，傳感器電容結構由多晶硅／柵氧／n阱硅構成，并通過體硅腐蝕和陽極鍵合等后處理工藝完成了電容結構的釋放和腔的真空密封。接口電路基于電容一頻率轉化電路，該電路結構簡單，并通過“差頻”，消除了溫漂和工藝波動的影響，具有較高的精度。